多功能掃描探針顯微鏡的基本工作原理是利用探針與樣品表面原子分子的相互作用，即當探針與樣品表面接近至納米尺度時形成的各種相互作用的物理場，通過檢測相應的物理量而獲得樣品表面形貌。掃描探針顯微鏡豐要由探針、掃描器、位移傳感器、控制器、檢測系統和圖像系統5部分組成。而原子力顯微鏡是一種掃描探針顯微鏡的一支，更具有優勢。尤其是韓國Park原子力顯微鏡值得信賴。
多功能掃描探針顯微鏡主要特點介紹：
1、多功能測量：能實現高分辨的形貌測量，除用于測量各種物質的表面形貌外，能測量多種材料如無機物非金屬材料、金屬材料、高分子材料、復合材料和生物材料的多種物性，包括磁力、摩擦力、粘彈性、表面電位勢、靜電力、壓電響應、電流像、電流隧道譜、電容等等。
2、液體及電化學環境測量：實現液體環境下進行接觸式和輕敲式AFM測量以及電化學環境中進行AFM及STM測量。
3、*的功能（詳細功能介紹請參見下述功能模式介紹）：
4、精密的設計：系統包含防震和隔音設備，滿足一般條件下進行各種高分辨的測量；并可與多種設備聯用，如納米力學系統、鐵電分析儀等。
多功能掃描探針顯微鏡結合X射線能譜儀在化學、物理、材料學、生物、醫學等領域的應用中,具有非常重要的地位。本文主要介紹了掃描電子顯微鏡及X射線能譜儀的工作原理、結構特點,并對儀器的維護與使用方面進行了一定的介紹,與廣大同行進行探討。
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